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半导体刀具选择

选择半导体加工刀具材料时,需综合考虑以下因素:被加工半导体材料的种类和特性、加工精度要求、表面质量要求、加工方式(车削、铣削、钻孔等)、设备条件和成本因素等。一般而言,加工硅、锗等传统半导体材料首选金刚石刀具;

加工碳化硅、氮化镓等超硬半导体可考虑CBN刀具;而加工某些半导体封装材料或基板时,涂层硬质合金可能是更经济的选择。随着新型半导体材料的不断涌现,刀具材料技术也在持续发展,纳米复合材料、梯度材料等新型刀具材料正逐步应用于半导体加工领域。

        

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